Высокочастотный микроиндуктор на основе гибкой полиимидной плёнки

Петров, А. В.; Демьянов, С. Е.; Канюков, Е. Ю.; Финк, Д.

Authors

Date

2011

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.395.631.4:621.791.776

Bibliographic entry

Петров, А. В. Высокочастотный микроиндуктор на основе гибкой полиимидной пленки / А. В. Петров, С. Е. Демьянов, Е. Ю. Канюков, Д. Финк // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф.А. ; Министерство образования Республики Беларусь ; Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №2(3). – С.27–32.

Abstract

Предложен более простой по сравнению с существующими технологиями способ создания трехмерного гибкого высокочастотного микроиндуктора на основе полиимидной пленки с протравленными треками быстрых тяжелых ионов, заполненными проводящим материалом. Создан действующий макет микроиндуктора размером 0,04 мм3, имеющий следующие основные характеристики: плотность обмотки 7 витков/мм при толщине витка 10 мкм, индуктивность 0,3 мГн при добротности 8 на частоте 200 МГц. Показана возможность уменьшения размеров устройства до 10-6 мм3.