Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия

Белогуров, Е. А.; Шукевич, Я. И.; Баркалин, В. В.; Хатько, В. В.; Таратын, И. А.

Authors

Date

2011

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

51-73

Bibliographic entry

Белогуров, Е. А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е. А. Белогуров, Я. И. Шукевич, В. В. Баркалин, В. В. Хатько, И. А. Таратын // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф. А. ; Министерство образования Республики Беларусь ; Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №2(3). – С.59–65.

Abstract

Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов. (E-mail: viacheslav.khatko@gmail.com)