Воздействие плазмы тлеющего разряда при отключенном магнитном поле на формирование аморфного карбида кремния
Bibliographic entry
Ковалевская, А. В. Воздействие плазмы тлеющего разряда при отключенном магнитном поле на формирование аморфного карбида кремния / А. В. Ковалевская, В. А. Жук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 456.