Воздействие плазмы тлеющего разряда при отключенном магнитном поле на формирование аморфного карбида кремния
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Жук, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-24T06:20:50Z | |
| dc.date.available | 2015-11-24T06:20:50Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Ковалевская, А. В. Воздействие плазмы тлеющего разряда при отключенном магнитном поле на формирование аморфного карбида кремния / А. В. Ковалевская, В. А. Жук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 456. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/19869 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Воздействие плазмы тлеющего разряда при отключенном магнитном поле на формирование аморфного карбида кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
