Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний
Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 461.