Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-24T07:10:32Z | |
| dc.date.available | 2015-11-24T07:10:32Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 461. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/19875 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
