Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/2220/32-38.pdf.jpg?sequence=2&isAllowed=y)
Date
2009Publisher
Bibliographic entry
Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин / Н. С. Хомич [и др.] // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2009. – № 1. – С. 32-38.
View/ Open
Collections
- №1[20]