Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин

dc.contributor.author	Хомич, Н. С.	ru
dc.contributor.author	Луговик, А. Ю.	ru
dc.contributor.author	Федорцев, Р. В.	ru
dc.contributor.author	Корзун, А. Е.	ru
dc.contributor.author	Кухто, П. В.	ru
dc.date.accessioned	2012-04-11T10:55:28Z
dc.date.available	2012-04-11T10:55:28Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин / Н. С. Хомич [и др.] // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2009. – № 1. – С. 32-38.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/2220
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Моделирование кинематики процесса магнитно-абразивного полирования кремниевых пластин	ru
dc.type	Article	ru