Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода
Bibliographic entry
Францкевич, Н. В. Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 468.