Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода
dc.contributor.author | Францкевич, Н. В. | ru |
dc.contributor.author | Францкевич, А. В. | ru |
dc.contributor.author | Шеденков, С. И. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2016-05-03T13:16:14Z | |
dc.date.available | 2016-05-03T13:16:14Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Францкевич, Н. В. Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, С. И. Шеденков // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 3. - С. 468. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/23567 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Образование орто- и парамолекулы водорода в пластинах монокристаллического кремния, имплантированных протонами и обработанных в DC плазме водорода | ru |
dc.type | Working Paper | ru |