Маркевич, М. И. Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов титана и никеля для металлизации СБИС / М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 4. - С. 455.