Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов титана и никеля для металлизации СБИС
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-06-28T11:06:15Z | |
| dc.date.available | 2016-06-28T11:06:15Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов титана и никеля для металлизации СБИС / М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 4. - С. 455. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/24535 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование тонкопленочных систем на основе силицидов титана и никеля для металлизации СБИС | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
