Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия
Bibliographic entry
Прецизионная система совмещения с шестью степенями свободы на кольцевом приводе прямого действия / С. Е. Карпович [и др.] // Теоретическая и прикладная механика : международный научно-технический сборник. – Вып. 32. – 2017. – С. 85-91.
Abstract
В статье рассматривается предложенная прецизионная система перемещений для сборочного оборудования в микроэлектроники, построенная на механизме параллельной кинематики с шестью степенями свободы и шестикоординатном приводе прямого действия. Представлена аппаратная конфигурация системы управления.
Abstract in another language
The article discusses the proposed precision motion system in microelectronic assembly equipment, built on parallel kinematics mechanism with six degrees of freedom and sixcoordinate drive direct action. Presented hardware configuration management system.