Техника магнетронного распыления тонких пленок. Газофазное осаждение тонких пленок
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2016Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.762.4Bibliographic entry
Асцилене, Д. Л. Техника магнетронного распыления тонких пленок. Газофазное осаждение тонких пленок / Д. Л. Асцилене ; науч. рук. В. В. Бабук // Современные технологии в образовании: материалы международной научно-практической конференции (24-25 ноября 2016 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; гл. ред. Б. М. Хрусталев. - Минск : БНТУ, 2016. – Ч. 2. – С. 17-20.