Техника магнетронного распыления тонких пленок. Газофазное осаждение тонких пленок
| dc.contributor.advisor | Бабук, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Асцилене, Д. Л. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-09-27T08:44:59Z | |
| dc.date.available | 2017-09-27T08:44:59Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Асцилене, Д. Л. Техника магнетронного распыления тонких пленок. Газофазное осаждение тонких пленок / Д. Л. Асцилене ; науч. рук. В. В. Бабук // Современные технологии в образовании: материалы международной научно-практической конференции (24-25 ноября 2016 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; гл. ред. Б. М. Хрусталев. - Минск : БНТУ, 2016. – Ч. 2. – С. 17-20. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/33006 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Техника магнетронного распыления тонких пленок. Газофазное осаждение тонких пленок | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.identifier.udc | 621.762.4 | ru |
