Ионно-лучевое травление (ИЛТ)
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2016Publisher
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.793Bibliographic entry
Мартинкевич, Я. Ю. Ионно-лучевое травление (ИЛТ) / Я. Ю. Мартинкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании: материалы международной научно-практической конференции (24-25 ноября 2016 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; гл. ред. Б. М. Хрусталев. - Минск : БНТУ, 2016. – Ч. 2. – С. 133-137.