Ионно-лучевое травление (ИЛТ)
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Мартинкевич, Я. Ю. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-09-28T08:18:38Z | |
| dc.date.available | 2017-09-28T08:18:38Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Мартинкевич, Я. Ю. Ионно-лучевое травление (ИЛТ) / Я. Ю. Мартинкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании: материалы международной научно-практической конференции (24-25 ноября 2016 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; гл. ред. Б. М. Хрусталев. - Минск : БНТУ, 2016. – Ч. 2. – С. 133-137. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/33042 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Ионно-лучевое травление (ИЛТ) | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.identifier.udc | 621.793 | ru |
