Изучение влияния технологических параметров процесса осаждения на элементный состав покрытий из нитрида алюминия
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2017Publisher
Bibliographic entry
Ходосевич, Д. А. Изучение влияния технологических параметров процесса осаждения на элементный состав покрытий из нитрида алюминия / Д. А. Ходосевич ; науч. рук. С. Д. Латушкина // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 23‒24 ноября 2017 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2017. – Ч. 1. – С. 264-266.