Изучение влияния технологических параметров процесса осаждения на элементный состав покрытий из нитрида алюминия
| dc.contributor.advisor | Латушкина, С. Д. | ru |
| dc.contributor.author | Ходосевич, Д. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-02-23T09:29:41Z | |
| dc.date.available | 2018-02-23T09:29:41Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Ходосевич, Д. А. Изучение влияния технологических параметров процесса осаждения на элементный состав покрытий из нитрида алюминия / Д. А. Ходосевич ; науч. рук. С. Д. Латушкина // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 23‒24 ноября 2017 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2017. – Ч. 1. – С. 264-266. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/38050 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Изучение влияния технологических параметров процесса осаждения на элементный состав покрытий из нитрида алюминия | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
