| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | ru |
| dc.contributor.author | Зайков, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | ru |
| dc.contributor.author | Солодухо, Д. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-02-05T07:33:59Z | |
| dc.date.available | 2013-02-05T07:33:59Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы / Бурмаков А. П., Зайков В. А., Комаров Ф. Ф., Людчик О. Р., Солодухо Д. А. // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2012. – №1(4). – С. 37 - 40. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/4101 | |
| dc.description.abstract | В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав формируемой плазмы как основной компоненты при осаждении тонкопленочных покрытий. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 621.373.825:539.2 | ru |
| dc.relation.journal | Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal | ru |
