Browsing Т. 9, № 2 by Author "Бурмаков, А. П."
Now showing items 1-1 of 1
-
Система стабилизации процесса реактивного магнетронного распыления
Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Столяров, А. В. (БНТУ, 2018)Пленочные покрытия сегодня позволяют создать большое количество разнообразных структур в электронике, микроэлектронике, оптике, архитектуре и строительстве. Лидирующими технологиями в этой области являются магнетронные технологии осаждения. Проблемой магнетронных методов осаждения является недостаточная воспроизводимость состава и свойств покрытий, обусловленная неустойчивостью ...2018-06-18