Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном
Bibliographic entry
Просолович, В. С. Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, В. В. Черный // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 15-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2017. - Т. 3. - С. 474.