Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-06-28T13:15:15Z | |
| dc.date.available | 2018-06-28T13:15:15Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Просолович, В. С. Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, В. В. Черный // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 15-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2017. - Т. 3. - С. 474. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/43013 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Свойства слоев кремния, имплантированных аргоном | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
