Боярщонок, Е. В. Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 15.