Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда
| dc.contributor.author | Боярщонок, Е. В. | |
| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-04T10:39:58Z | |
| dc.date.available | 2018-08-04T10:39:58Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Боярщонок, Е. В. Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 15. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/45755 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
