Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния
Bibliographic entry
Боярщонок, Е. В. Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 16.