Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния
| dc.contributor.author | Боярщонок, Е. В. | |
| dc.contributor.author | Шадурская, Л. И. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-04T11:25:49Z | |
| dc.date.available | 2018-08-04T11:25:49Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Боярщонок, Е. В. Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 16. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/45756 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
