Определение диэлектрических свойств покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке
Bibliographic entry
Жарский, В. В. Определение диэлектрических свойств покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке / В. В. Жарский, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 197-198.