Определение диэлектрических свойств покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке
| dc.contributor.author | Жарский, В. В. | |
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-30T07:22:39Z | |
| dc.date.available | 2018-08-30T07:22:39Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Жарский, В. В. Определение диэлектрических свойств покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке / В. В. Жарский, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 197-198. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46808 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Определение диэлектрических свойств покрытия нитрида алюминия на кремниевой подложке | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
