Исследование влияния состава газовой смеси на процесс формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением
Bibliographic entry
Ярмашук, Е. С. Исследование влияния состава газовой смеси на процесс формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением / Е. С. Ярмашук, С. С. Бурко, С. М. Завадский // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 234.