Исследование влияния состава газовой смеси на процесс формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением
| dc.contributor.author | Ярмашук, Е. С. | |
| dc.contributor.author | Бурко, С. С. | |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-30T10:25:08Z | |
| dc.date.available | 2018-08-30T10:25:08Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Ярмашук, Е. С. Исследование влияния состава газовой смеси на процесс формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением / Е. С. Ярмашук, С. С. Бурко, С. М. Завадский // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 234. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46855 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование влияния состава газовой смеси на процесс формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
