Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Рябцев, Р. Л. Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов, 24–25 мая 2018 г. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 185-187.