Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | |
| dc.contributor.author | Рябцев, Р. Л. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-09-28T12:00:00Z | |
| dc.date.available | 2018-09-28T12:00:00Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Рябцев, Р. Л. Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов, 24–25 мая 2018 г. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 185-187. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/47868 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Метод взрывной фотолитографии как решение проблем сложносоставных полупроводниковых систем | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
