Browsing Материалы 11-й конференции by Author "Чапланов, А. М."
Now showing items 1-2 of 2
-
Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2013)Маркевич, М. И. Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 461.2015-11-24 -
Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2013)Маркевич, М. И. Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 310.2015-11-11