Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме
Bibliographic entry
Иванов, И. А. Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 1. - С. 299.