Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме
| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | |
| dc.contributor.author | Ковалевич, Э. В. | |
| dc.contributor.author | Слуцкий, А. Г. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-02-27T07:50:24Z | |
| dc.date.available | 2019-02-27T07:50:24Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Иванов, И. А. Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 1. - С. 299. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/50081 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологические особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней для нанесения покрытий изделий в вакууме | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
