Show simple item record

dc.contributor.authorЗайков, В. А.
dc.contributor.authorИвлев, Г. Д.
dc.contributor.authorКлимович, И. М.
dc.contributor.authorЛюдчик, О. Р.
dc.contributor.authorВишневский, А. И.
dc.contributor.authorГусакова, С. В.
dc.contributor.authorКоролик, О. В.
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2019-04-18T12:21:53Z
dc.date.available2019-04-18T12:21:53Z
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationСтруктурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге = Structural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearling / В. А. Зайков [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/51954
dc.description.abstractМетодами растровой электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света исследованы структура, элементный состав тонких пленок Ti – Al – C – N до и после обработки интенсивным излучением рубинового лазера (λ = 0,69 мкм) при плотностях энергии 0,5–1,3 Дж/см2. Исследуемые тонкопленочные покрытия формировались на кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления составной мишени Ti – Al в аргон-азот-ацетиленовой среде.ru
dc.language.isoruru
dc.titleСтруктурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжигеru
dc.title.alternativeStructural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearlingru
dc.typeWorking Paperru
local.description.annotationThe structure and the elemental composition of thin Ti – Al – C N films before and after treatment with intense ruby laser radiation (λ = 0.69 μm) at energy densities of 0.5–1.3 J/ cm2 were investigated by scanning electron microscopy and Raman scattering. Thin film Ti – Al – C – N coatings on silicon substrates were formed by reactive magnetron sputtering of a composite Ti – Al target in a mixture of argon-nitrogen-acetylene gases.ru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record