Формирование наноструктурных пленок из tib2+ 20 % tic ионно-лучевым распылением композиционной мишени
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование наноструктурных пленок из tib2+ 20 % tic ионно-лучевым распылением композиционной мишени / Е. В. Телеш, Н. Н. Лам // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 333-334.