Формирование наноструктурных пленок из tib2+ 20 % tic ионно-лучевым распылением композиционной мишени
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | |
| dc.contributor.author | Лам, Н. Н. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-29T10:52:19Z | |
| dc.date.available | 2019-04-29T10:52:19Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Формирование наноструктурных пленок из tib2+ 20 % tic ионно-лучевым распылением композиционной мишени / Е. В. Телеш, Н. Н. Лам // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 333-334. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52298 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование наноструктурных пленок из tib2+ 20 % tic ионно-лучевым распылением композиционной мишени | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
