Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2019Publisher
Bibliographic entry
Загоровский, Н. Д. Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения / Н. Д. Загоровский ; преп. С. В. Юхновец // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 82-87.