Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/52959/ANALIZ_OSNOVNYH_DEFEKTOV_ZHIDKOSTNOGO_TRAVLENIYA_OKSIDA_KREMNIYA_I_PUTI_IH_USTRANENIYA.pdf.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2019Publisher
Bibliographic entry
Загоровский, Н. Д. Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения / Н. Д. Загоровский ; преп. С. В. Юхновец // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 82-87.