Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения
| dc.contributor.advisor | Юхновец, С. В. | |
| dc.contributor.author | Загоровский, Н. Д. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-05-28T06:02:52Z | |
| dc.date.available | 2019-05-28T06:02:52Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Загоровский, Н. Д. Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения / Н. Д. Загоровский ; преп. С. В. Юхновец // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 82-87. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52959 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Анализ основных дефектов жидкостного травления оксида кремния и пути их устранения | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
