Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80
![Thumbnail](/bitstream/handle/data/52961/ISSLEDOVANIE_PROCESSA_FORMIROVANIYA_SLOYA_FOTOREZISTA_DLYA_SBIS_NA_USTANOVKE_DNS_80.pdf.jpg?sequence=3&isAllowed=y)
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2019Publisher
Bibliographic entry
Боровский, А. C. Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80 / А. C. Боровский ; преп. Л. К. Лаврова // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 87-93.