Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80
| dc.contributor.advisor | Лаврова, Л. К. | |
| dc.contributor.author | Боровский, А. C. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-05-28T06:15:00Z | |
| dc.date.available | 2019-05-28T06:15:00Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Боровский, А. C. Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80 / А. C. Боровский ; преп. Л. К. Лаврова // Сборник материалов Международной научно-практической конференции учащихся "Молодежь 21 века", 14 марта 2019 [Электронный ресурс] / редкол.: С. А. Квасюк [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 87-93. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52961 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование процесса формирования слоя фоторезиста для СБИС на установке dns-80 | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
