| dc.contributor.author | Чижик, С. А. | |
| dc.contributor.author | Басалаев, С. П. | |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | |
| dc.contributor.author | Худолей, А. Л. | |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | |
| dc.contributor.author | Чикунов, В. В. | |
| dc.contributor.author | Суслов, А. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-11-01T09:48:40Z | |
| dc.date.available | 2013-11-01T09:48:40Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин
при производстве интегральных микросхем / Чижик С. А., Басалаев С. П., Пилипенко В. А., Худолей А. Л., Кузнецова Т. А., Чикунов В. В., Суслов А. А. // Приборы и методы измерений: научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2013 . - № 1(6). - С. 14 - 18 | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/5334 | |
| dc.description.abstract | Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро-
электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой микроскопии, разработан и изготовлен сканирующий зондовый микроскоп. Комплекс внедрен для промышленного неразрушающего контроля субмикроэлектроники, выполненной на кремниевых пластинах диаметром до 200 мм, с целью осуществления операционного контроля, метрологических измерений и приемки качества готовой продукции. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.subject | Контроль субмикронной топологии | ru |
| dc.subject | Оптическая и атомно-силовая микроскопия | ru |
| dc.title | Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 53.083.91 | ru |
| dc.relation.journal | Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal | ru |
