Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле
Bibliographic entry
Ковалевская, А. В. Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле / А. В. Ковалевская, А. Е. Жук, К. А. Жук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 3. - С. 178.