Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле
| dc.contributor.author | Ковалевская, А. В. | |
| dc.contributor.author | Жук, А. Е. | |
| dc.contributor.author | Жук, К. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-06-25T06:02:54Z | |
| dc.date.available | 2019-06-25T06:02:54Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Ковалевская, А. В. Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле / А. В. Ковалевская, А. Е. Жук, К. А. Жук // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 3. - С. 178. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/53740 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование процессов движения эмиссионного потока при магнетронном распылении в переменном магнитном поле | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
