Now showing items 1-19 of 19

    • Анализ дефектов поверхности исходных подложек алюминия и его сплавов методом сканирующего зонда Кельвина 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Мухуров, Н. И.; Шаронов, Г. В.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2017)
      В настоящее время использование методов зондовой электрометрии в неразрушающем контроле сдерживается сложностью интерпретации результатов измерений, что связано с многофакторностью измерительного сигнала, зависящего от большого количества параметров физико-химического состояния поверхности: отклонений химического состава, механических напряжений, дислокаций, кристаллографической ...
      2017-03-02
    • Анализ метода измерения поверхностного потенциала диэлектриков по схеме токовой компенсации 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2011)
      Проведен сравнительный анализ динамических зондовых методов измерения поверхностного потенциала. Показано, что для бесконтактных измерений поверхностного потенциала диэлектриков в широком диапазоне значений оптимальным является использование схемы с токовой компенсацией. Преимуществами данной схемы являются высокое пространственное разрешение, широкий диапазон измерений поверхностного ...
      2012-03-28
    • Анализ распределения электрофизических и фотоэлектрических свойств нанокомпозитных полимеров модифицированным зондом Кельвина 

      Пантелеев, К. В.; Кравцевич, А. В.; Ровба, И. А.; Лысенок, В. И.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2017)
      В настоящее время для анализа однородности свойств материалов широкое распространение получают различные модификации сканирующего зонда Кельвина, позволяющие картировать пространственное распределение электростатического потенциала поверхности. В случае диэлектриков анализ однородности электропотенциального профиля не является достаточным для описания каких-либо конкретных ...
      2017-12-15
    • Диагностика локальных изменений пластической деформации по работе выхода электрона 

      Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2015)
      Рассмотрены вопросы измерения работы выхода электрона по контактной разности потенциалов и экспериментально обоснована возможность применения этих методов для оценки напряженно-деформированного состояния поверхностных слоев металлов и сплавов. Разработаны методики и приведены примеры их применения для исследования локализации пластической деформации с применением зонда Кельвина. ...
      2015-07-24
    • Зарядочувствительный метод исследования деформационных процессов 

      Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2022)
      В качестве информационного параметра об изменении состояния материала под действием механических напряжений может быть использован поверхностный электростатический потенциал (заряд). Целью работы являлась отработка методик исследования деформационных процессов в металлических и полимерных материалах с использованием зарядочувствительного метода. Проведены экспериментальные ...
      2022-12-29
    • Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Пантелеев, К. В.; Самарина, А. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2023)
      Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе ...
      2023-08-15
    • Интеллектуальный сенсор для измерительных систем, работающих по схеме синусоидальное возбуждение – отклик 

      Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Самарина, А. В.; Пантелеев, К. В.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2023)
      Измерительные приборы и системы, содержащие датчики, требующие синусоидальное возбуждающее воздействие, широко используются в информационно-измерительной технике как в производственных условиях, так и в исследовательской практике. В качестве примеров можно привести различные типы металлоискателей, вихретоковые дефектоскопы, анализаторы жидких сред, электрометры с динамическим ...
      2023-04-13
    • Исследование накопления заряда статического электричества на поверхности изделий из фторопласта-4 методом вибрирующего конденсатора 

      Вершина, Г. А.; Жарин, А. Л.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2012)
      Вершина, Г. А. Исследование накопления заряда статического электричества на поверхности изделий из фторопласта-4 методом вибрирующего конденсатора / Г. А. Вершина, А. Л. Жарин, А. К. Тявловский // Наука и техника: международный научно-технический журнал. - 2012. - N 1. - С. 26-32.
      2012-05-17
    • Компенсация погрешностей измерения электрического потенциала при уменьшении размеров зонда Кельвина 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2013)
      Представлены результаты моделирования измерительной цепи, содержащей динамический конденсатор, методом комплексно-гармонического анализа. Из-за малого значения нормированной частоты вибрации измерительный сигнал зонда Кельвина с чувствительным элементом малых размеров характеризуется значительными гармоническими искажениями, приводящими к резкому увеличению погрешности измерений. ...
      2014-06-02
    • Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2013)
      Рассмотрено применение метода Кельвина–Зисмана (контактной разности потенциалов) для неразрушающего контроля и выявления дефектов структур кремний-диэлектрик. Метод использовался для визуализации распределения электрического потенциала поверхности и изгиба энергетических зон по поверхности термически окисленной кремниевой пластины, легированной бором. Полученная картина распределения ...
      2014-06-02
    • Контроль металлических поверхностей, обработанных алмазным наноточением, по работе выхода электрона 

      Шаронов, Г. В.; Жарин, А. Л.; Мухуров, Н. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2015)
      Технология размерной обработки резанием базируется на использовании интегральных геометрических параметров поверхности твердого тела. Технологическое воздействие резца приводит к процессам окисления и изменению физико-химических параметров поверхности. Для описания характеристик обработки и формирования сверхгладких поверхностей контроль геометрических параметров оказывается ...
      2015-12-30
    • Методы измерений работы выхода электрона для контроля состояния поверхностей в процессе трения 

      Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2014)
      Рассмотрены вопросы измерения работы выхода электрона по контактной разности потенциалов; экспериментально обоснована возможность их применения для оценки и контроля состояния поверхности трения. Разработаны методики и приведены примеры их применения для определения работы выхода электрона при трибологических исследований с применением зонда Кельвина. Показано, что исследование ...
      2014-12-17
    • Многофункциональный измерительный преобразователь параметров жидких технологических сред 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Кузьминский, Ю. Г.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шилько, С. В. (БНТУ, 2012)
      Для разработки многофункционального измерительного преобразователя концентрации и типа раствора в технологическом трубопроводе использована методология измерений параметров объектов в неопределенных состояниях. Показано, что режимы измерений концентрации и типа раствора могут быть реализованы в одном одноэлементном кондуктометрическом преобразователе при условии адаптивного ...
      2013-02-13
    • Моделирование метрологических характеристик емкостных первичных преобразователей средств зондовой электрометрии 

      Тявловский, А. К.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2011)
      Для определения функции преобразования емкостного первичного преобразователя зондового электрометра использован метод комплексно-гармонического анализа. Получено выражение, позволяющее анализировать метрологические характеристики цепи, содержащей динамический конденсатор при любых значениях ее параметров. Проанализированы амплитудно-частотные и фазочастотные характеристики цепи ...
      2012-03-26
    • Построение измерителей контактной разности потенциалов 

      Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2016)
      Измерители контактной разности потенциалов отличаются большим многообразием и изготавливаются в основном в лабораторных условиях для конкретных экспериментальных задач. Как правило, они состоят из серийно выпускаемых измерительных приборов и поэтому обладают рядом недостатков, например большими габаритами, сложностью и высокой стоимостью, низкими чувствительностью, быстродействием, ...
      2016-06-07
    • Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2014)
      Повышение воспроизводимости и достоверности результатов контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин зондовыми зарядочувствительными методами обеспечивается в работе за счет реализации режима самокалибровки зонда Кельвина, при котором в качестве образца для калибровки используется поверхность самой контролируемой пластины. Измерения выполняются в сканирующем ...
      2014-12-17
    • Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин 

      Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2023)
      Для исследования и контроля полупроводниковых пластин широко используются бесконтактные электрические методы, основанные на измерении потенциала поверхности (CPD) в сочетании с освещением и/или осаждением зарядов на образец с помощью коронного разряда, а также на измерении поверхностной фото-ЭДС (SPV). По фото-ЭДС возможно определение времени жизни неосновных носителей заряда, ...
      2023-10-17
    • Характеризация электрофизических свойств границы раздела кремний-двуокись кремния с использованием методов зондовой электрометрии 

      Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Филипеня, В. А.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2017)
      Анализ микронеоднородностей в системе кремний-двуокись кремния становится наиболее актуальным в связи с переходом микроэлектронной промышленности к субмикронным проектным нормам и уменьшением толщины подзатворного диэлектрика. Целью исследования являлось развитие методов неразрушающего контроля полупроводниковых пластин на основе определения электрофизических свойств границы ...
      2017-12-15
    • Цифровой измеритель контактной разности потенциалов 

      Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2016)
      В настоящее время принципы построения аналоговых измерителей контактной разности потенциалов достаточно хорошо отработаны. Однако остаются и некоторые недостатки. Из-за влияния ряда паразитных факторов, аналоговые измерители имеют область неопределенности и значительную погрешность. Для достижения высокой точности требуется интеграция сигнала с постоянной времени не менее нескольких ...
      2016-09-11