Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 256-257.