Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Дуксин, М. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:35:36Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:35:36Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 256-257. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62181 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Реактивный ионно-лучевой синтез тонких пленок диоксида кремния, легированных углеродом | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
