Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой
Bibliographic entry
Чапланов, А. М. Исследование фазовых превращений в тонких пленках молибдена в зависимости от времени облучения азот-водородной плазмой / А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 351-352.